凈化工程車間分為更衣室、千層區(qū)、百層區(qū)、更衣室及千層區(qū)、千層區(qū)、百層區(qū)三部分，均設(shè)置有風(fēng)機，凈化工程車間及室外均設(shè)置有通道箱。人員進入凈化工程車間時，必須先通過風(fēng)淋，對人員帶來的粉塵進行噴淋，削減人員帶入凈化工程車間的粉塵。分動器對粉塵進行吹掃和噴霧，到達降塵的效果

 2空氣系統(tǒng)流程圖

系統(tǒng)選用新風(fēng)空調(diào)箱+FFU系統(tǒng)。新風(fēng)空調(diào)箱結(jié)構(gòu)FFU：（故障單元），即風(fēng)機和過濾器

千級區(qū)選用高效過濾器，過濾功率99.997%，百級區(qū)選用超低浸透過濾器，過濾功率99.9995%。

 3水系統(tǒng)流程圖

冰水系統(tǒng)分為一次側(cè)和二次側(cè)

一次冰水溫度7-12度，送至空調(diào)箱和風(fēng)機盤管；二次冰水溫度12-17度，送至干盤管系統(tǒng)。一次冰水和二次冰水是由板式換熱器銜接的兩條不同的回路。板式換熱器原理

干盤管：非冷凝盤管。因為凈化工程車間溫度為22℃，溫度約為12℃，7℃的冰水不能直接進入凈化工程車間，因此進入干盤管的冰水溫度為12-14℃

 4DDC溫度：干卷系統(tǒng)操控

濕度：空調(diào)箱通過感應(yīng)信號操控三通閥的開度來調(diào)度空調(diào)箱線圈的進水量

正壓：依據(jù)靜壓感應(yīng)信號調(diào)度空調(diào)箱電機變頻器的頻率，以調(diào)度進入房間的新風(fēng)量

 5其他系統(tǒng)

凈化工程不僅是空調(diào)系統(tǒng)，還有真空、氣壓、氮氣、純水、廢水、二氧化碳系統(tǒng)、工藝排氣系統(tǒng)、檢測規(guī)范：

 1 氣流速度及其均勻性的檢測是凈化工程車間其它檢測效果的前提。本次檢測的意圖是承認單向流凈化工程車間作業(yè)區(qū)的均勻風(fēng)速及其均勻性。

 2系統(tǒng)或房間的風(fēng)量檢測。

 3室內(nèi)清潔度檢測。清潔度的檢測是為了認定在清潔的環(huán)境中可以到達的空氣清潔度水平。粒子計數(shù)器可用于檢測。

 4 檢測自凈時刻。通過自凈時刻的承認，找出在污染情況下康復(fù)潔凈室原有清潔度的才能。

 5 氣流形式檢測。

 6 噪音檢測。

 7 照明檢測。照度檢測的意圖是承認潔凈室的照度水平和均勻性。

 8 振蕩檢測。振蕩檢測的意圖是承認凈化工程車間指示的振蕩波動。

 9 溫度和濕度的檢測。溫濕度檢測的意圖是將溫濕度調(diào)度到必定的極限。其內(nèi)容包括凈化工程車間送風(fēng)溫度檢測、代表測點氣溫檢測、凈化工程車間中心點氣溫檢測、靈敏元件空氣量檢測，室內(nèi)空氣相對溫度的檢測，回風(fēng)溫度的檢測。